Equipamentos
Conheça a FHR
Descubra como a FHR, uma empresa do Vital Group, projeta e fabrica sistemas avançados de revestimento a vácuo para pesquisa, desenvolvimento em escala piloto e produção em grande volume. Conheça a expertise em engenharia e as tecnologias de filmes finos que fortalecem o portfólio de equipamentos da Vital.
Sistema de Produção em Destaque
Sistema de revestimento PVD em linha Line.2850.H-MD
Plataforma industrial de pulverização catódica projetada para deposição de alto rendimento em substratos de grande formato, voltada para a fabricação avançada de filmes finos fotovoltaicos e aplicações em vidros arquitetônicos.
Destaques
- Substratos de grandes dimensões, de até 1215 × 2300 mm
- >90% de tempo de atividade comprovado
- Tempo de ciclo de 20 segundos
- Temperatura do substrato de até 200 °C ± 5 °C
- Produção contínua em linha horizontal
- Desempenho uniforme do revestimento
- Processos que incluem HJT, perovskita, vidro de baixa emissividade e outras tecnologias fotovoltaicas de película fina
Sistemas de revestimento e deposição
Sistemas de Evaporação Térmica
Nossas plataformas de evaporação térmica suportam materiais como metais, ligas e certos compostos usados em aplicações ópticas, eletrônicas e de filmes finos especiais. Esses sistemas são projetados para oferecer consistência, repetibilidade e facilidade de operação.
Características típicas
- Opções de resistência e evaporação baseada em barco
- Controle térmico estável para taxas de deposição previsíveis
- Tamanhos de câmara configuráveis para ambientes de pesquisa ou produção
- Compatível com metais, ligas metálicas e materiais de evaporação selecionados
Sistemas de evaporação por feixe de elétrons
A evaporação por feixe de elétrons permite a deposição de alta pureza e alta precisão de metais e compostos com pontos de fusão elevados. Esses sistemas acomodam uma ampla variedade de cadinhos e tipos de materiais.
Características típicas
- Fontes de feixes de elétrons de alta energia para fusão eficiente
- Adequado para materiais de evaporação de alta temperatura ou alta pureza
- Configurações com vários bolsos ou um único bolso
- Controle preciso da taxa para formação uniforme de película fina
Sistemas de pulverização catódica
Os sistemas de pulverização da Vital suportam alvos cerâmicos, metálicos e de metais preciosos em ambientes de pesquisa e desenvolvimento e produção. Projetados para oferecer estabilidade e espessura de filme uniforme, esses sistemas acomodam uma ampla variedade de materiais-alvo.
Características típicas
- Configurações DC, RF ou DC pulsada
- Tecnologia de pulverização catódica por magnetrão para eficiência otimizada
- Opções de cátodo único e cátodos múltiplos
- Compatível com alvos cerâmicos, alvos metálicos e alvos de metais preciosos
Sistemas de Deposição Assistida por Íons (IAD)
Os sistemas IAD combinam evaporação com assistência por feixe de íons para melhorar a densidade do filme, a adesão e a durabilidade do revestimento a longo prazo.
Características típicas
- Aprimoramento por feixe de íons para melhorar as propriedades do filme
- Ideal para revestimentos ópticos que exigem resistência ambiental
- Suporta vários materiais de revestimento, incluindo óxidos e fluoretos
Componentes e acessórios do sistema de vácuo
Oferecemos uma ampla gama de componentes de suporte projetados para se integrarem aos nossos sistemas ou às plataformas existentes dos clientes.
Componentes disponíveis
- Câmaras de vácuo e sistemas de bombeamento
- Fontes de alimentação e controladores
- Fixação e suportes para substratos
- Cadinhos, barcos e fontes de evaporação
Suporte e integração de engenharia
A Vital Materials fornece suporte à aplicação e orientação de engenharia para ajudar os clientes a otimizar o desempenho do sistema. Nossas equipes auxiliam na seleção de materiais, configuração de processos, configuração do sistema e suporte técnico contínuo.
O suporte inclui
- Orientação para o desenvolvimento de processos
- Assistência em compatibilidade de materiais
- Consumíveis e peças de reposição
- Suporte para manutenção e resolução de problemas
Solução em destaque: Série Roll
Conheça os sistemas de revestimento a vácuo da Série Roll da VMET e veja como o processamento roll-to-roll possibilita a deposição escalável de filmes finos para a fabricação de última geração.