Equipamento
Conheça a FHR
Descubra como a FHR, uma empresa do Grupo Vital, concebe e fabrica sistemas avançados de revestimento a vácuo para investigação, desenvolvimento em escala piloto e produção em grande escala. Conheça a experiência em engenharia e as tecnologias de películas finas que reforçam o portfólio de equipamentos da Vital.
Sistema de Produção em Destaque
Sistema de revestimento PVD em linha Line.2850.H-MD
Plataforma industrial de pulverização catódica concebida para a deposição de alto rendimento em substratos de grande formato, destinada à produção avançada de painéis fotovoltaicos de película fina e a aplicações em vidro arquitetónico.
Destaques
- Substratos de grandes dimensões, até 1215 × 2300 mm
- >90% de tempo de atividade comprovado
- Tempo de ciclo de 20 segundos
- Temperatura do substrato até 200 °C ± 5 °C
- Produção horizontal contínua em linha
- Desempenho uniforme do revestimento
- Processos que incluem HJT, perovskita, vidro de baixa emissividade e outras tecnologias fotovoltaicas de película fina
Sistemas de revestimento e deposição
Sistemas de evaporação térmica
As nossas plataformas de evaporação térmica suportam materiais como metais, ligas e determinados compostos utilizados em aplicações ópticas, eletrónicas e de película fina especializadas. Estes sistemas foram concebidos para oferecer consistência, repetibilidade e facilidade de operação.
Características típicas
- Opções de resistência e evaporação baseadas em barcos
- Controlo térmico estável para taxas de deposição previsíveis
- Tamanhos de câmara configuráveis para ambientes de investigação ou produção
- Compatível com metais, ligas metálicas e materiais de evaporação selecionados
Sistemas de evaporação por feixe de elétrons
A evaporação por feixe de elétrons permite a deposição de alta pureza e alta precisão de metais e compostos com pontos de fusão elevados. Esses sistemas acomodam uma ampla variedade de cadinhos e tipos de materiais.
Características típicas
- Fontes de feixes de elétrons de alta energia para fusão eficiente
- Adequado para materiais de evaporação de alta temperatura ou alta pureza
- Configurações com vários bolsos ou um único bolso
- Controlo preciso da taxa para formação uniforme de película fina
Sistemas de pulverização catódica
Os sistemas de pulverização da Vital suportam alvos cerâmicos, metálicos e de metais preciosos em ambientes de I&D e produção. Projetados para oferecer estabilidade e espessura de película uniforme, esses sistemas acomodam uma ampla gama de materiais-alvo.
Características típicas
- Configurações DC, RF ou DC pulsada
- Tecnologia de pulverização catódica por magnetrão para eficiência otimizada
- Opções de cátodo único e cátodos múltiplos
- Compatível com alvos cerâmicos, alvos metálicos e alvos de metais preciosos
Sistemas de deposição assistida por iões (IAD)
Os sistemas IAD combinam evaporação com assistência por feixe de iões para melhorar a densidade do filme, a adesão e a durabilidade do revestimento a longo prazo.
Características típicas
- Melhoria por feixe de iões para propriedades aprimoradas do filme
- Ideal para revestimentos óticos que exigem resistência ambiental
- Suporta vários materiais de revestimento, incluindo óxidos e fluoretos
Componentes e acessórios do sistema de vácuo
Oferecemos uma ampla gama de componentes de suporte projetados para se integrarem aos nossos sistemas ou às plataformas existentes dos clientes.
Componentes disponíveis
- Câmaras de vácuo e sistemas de bombeamento
- Fontes de alimentação e controladores
- Fixação e suportes de substrato
- Cadinhos, barcos e fontes de evaporação
Suporte e integração de engenharia
A Vital Materials fornece suporte à aplicação e orientação de engenharia para ajudar os clientes a otimizar o desempenho do sistema. As nossas equipas auxiliam na seleção de materiais, configuração de processos, configuração do sistema e suporte técnico contínuo.
O suporte inclui
- Orientação para o desenvolvimento de processos
- Assistência em compatibilidade de materiais
- Consumíveis e peças de substituição
- Suporte à manutenção e resolução de problemas
Solução em destaque: Série Roll
Explore os sistemas de revestimento a vácuo da série Roll da VMET e descubra como o processamento rolo a rolo permite a deposição escalável de películas finas para a produção da próxima geração.