Equipement
Découvrez FHR
Découvrez comment FHR, une société du groupe Vital, conçoit et fabrique des systèmes de dépôt sous vide de pointe destinés à la recherche, au développement à l'échelle pilote et à la production en grande série. Découvrez l'expertise technique et les technologies de couches minces qui viennent renforcer la gamme d'équipements de Vital.
Système de production à l'honneur
Système de revêtement PVD en ligne Line.2850.H-MD
Plateforme de pulvérisation cathodique industrielle conçue pour le dépôt à haut débit sur des substrats de grand format, destinée à la fabrication de cellules photovoltaïques à couche mince de pointe et aux applications dans le domaine du verre architectural.
Points forts
- Grands supports pouvant atteindre 1 215 × 2 300 mm
- > Un temps de disponibilité avéré de 90 %
- Durée de cycle de 20 secondes
- Température du substrat jusqu'à 200 °C ± 5 °C
- Production en ligne continue horizontale
- Rendement de revêtement uniforme
- Procédés tels que la technologie HJT, la pérovskite, le verre à faible émissivité et d'autres technologies photovoltaïques à couche mince
Systèmes de revêtement et de dépôt
Systèmes d'évaporation thermique
Nos plateformes d'évaporation thermique prennent en charge des matériaux tels que les métaux, les alliages et certains composés utilisés dans les applications optiques, électroniques et spécialisées à couche mince. Ces systèmes sont conçus pour offrir cohérence, répétabilité et facilité d'utilisation.
Caractéristiques typiques
- Options de résistance et d'évaporation à partir d'un bateau
- Contrôle thermique stable pour des taux de dépôt prévisibles
- Tailles de chambres configurables pour les environnements de recherche ou de production
- Compatible avec les métaux, les alliages métalliques et certains matériaux d'évaporation
Systèmes d'évaporation par faisceau d'électrons
L'évaporation par faisceau d'électrons permet un dépôt de haute pureté et haute précision de métaux et de composés à point de fusion élevé. Ces systèmes s'adaptent à une large gamme de creusets et de types de matériaux.
Caractéristiques typiques
- Sources de faisceaux d'électrons à haute énergie pour une fusion efficace
- Convient aux matériaux d'évaporation à haute température ou haute pureté
- Configurations à plusieurs poches ou à poche unique
- Contrôle précis du débit pour une formation uniforme d'un film mince
Systèmes de pulvérisation cathodique
Les systèmes de pulvérisation de Vital prennent en charge les cibles en céramique, en métal et en métal précieux dans les environnements de R&D et de production. Conçus pour offrir une stabilité et une épaisseur de film uniforme, ces systèmes s'adaptent à une large gamme de matériaux cibles.
Caractéristiques typiques
- Configurations CC, RF ou CC pulsé
- Technologie de pulvérisation magnétron pour une efficacité optimisée
- Options à cathode unique et à cathodes multiples
- Compatible avec les cibles en céramique, les cibles métalliques et les cibles en métaux précieux
Systèmes de dépôt assisté par ions (IAD)
Les systèmes IAD combinent l'évaporation et l'assistance par faisceau d'ions pour améliorer la densité du film, l'adhérence et la durabilité à long terme du revêtement.
Caractéristiques typiques
- Amélioration des propriétés du film grâce à un faisceau d'ions
- Idéal pour les revêtements optiques nécessitant une résistance environnementale
- Prend en charge plusieurs matériaux de revêtement, notamment les oxydes et les fluorures.
Composants et accessoires pour systèmes d'aspiration
Nous proposons une large gamme de composants complémentaires conçus pour s'intégrer à nos systèmes ou aux plateformes existantes de nos clients.
Composants disponibles
- Chambres à vide et systèmes de pompage
- Alimentations électriques et contrôleurs
- Fixation et supports de substrat
- Creusets, bateaux et sources d'évaporation
Assistance technique et intégration
Vital Materials fournit une assistance technique et des conseils d'ingénierie pour aider ses clients à optimiser les performances de leurs systèmes. Nos équipes vous accompagnent dans le choix des matériaux, la mise en place des processus, la configuration des systèmes et vous offrent une assistance technique continue.
L'assistance comprend
- Guide de développement de processus
- Assistance en matière de compatibilité des matériaux
- Consommables et pièces de rechange
- Assistance à la maintenance et au dépannage
Solution phare : la série Roll
Découvrez les systèmes de revêtement sous vide de la série « Roll » de VMET et voyez comment le traitement rouleau à rouleau permet un dépôt de couches minces évolutif pour la fabrication de nouvelle génération.