Cibles métalliques
Vital Materials fabrique une gamme complète de cibles de pulvérisation en métal et en alliage utilisées dans les semi-conducteurs, les écrans, le photovoltaïque, l'optique et les revêtements fonctionnels.
Nos cibles sont conçues pour offrir une pureté, une densité et une adhérence supérieures, garantissant des performances de pulvérisation constantes, une qualité de film mince uniforme et une répétabilité des processus dans tous les environnements de production.
Grâce à un processus verticalement intégré de raffinage des métaux, d'alliage et de liaison de précision, nous contrôlons entièrement la composition, la microstructure et la qualité. Toutes les cibles sont disponibles sous forme plane ou rotative, conçues pour s'adapter à des systèmes PVD et des applications de film spécifiques.
Cibles en métal pur
Vital produit des cibles métalliques de haute pureté conçues pour des applications conductrices, réfléchissantes et de couches barrières.
Aluminium (Al)
- Semiconducteurs, écrans LCD TFT et revêtements décoratifs
Chrome (Cr)
- Couches barrières et adhésives pour semi-conducteurs et verre à faible émissivité
Cuivre (Cu)
- Revêtements conducteurs pour circuits intégrés, capteurs et interconnexions
Nickel (Ni)
- Applications magnétiques, semi-conductrices et LED
Niobium (Nb)
- Écrans tactiles, revêtements AR et transistors à couche mince
Silicium (Si)
- Couches de revêtement optiques, électroniques et d'affichage
Tantale (Ta)
- Barrières de diffusion et revêtements résistants à l'usure
Titane (Ti)
- Revêtements décoratifs et fonctionnels, écrans et photovoltaïques
Étain (Sn)
- Verre à faible émissivité et revêtements pour appareils grand public
Vanadium (V)
- Détecteurs infrarouges et revêtements de précision
Zirconium (Zr)
- Couches optiques et résistantes à la corrosion
Cibles en alliage
Les cibles en alliage de Vital sont conçues pour offrir des propriétés électriques, optiques ou magnétiques améliorées, répondant ainsi aux exigences des appareils de nouvelle génération.
Aluminium scandium (AlSc)
- Circuits intégrés, MEMS et micromoteurs
Cuivre au béryllium (BeCu)
- Blindage EMI et revêtements décoratifs
Cuivre-gallium (CuGa)
- Couche absorbante pour cellule solaire à couche mince CIGS
Cuivre Indium Gallium (CIG)
- Pour les cellules photovoltaïques CIGS à haut rendement
Tungstène-titane (WTi)
- Couches barrières dans les semi-conducteurs et l'optique
Silicium-aluminium (SiAl)
- Verre à faible émissivité et revêtements antireflets
Cobalt-tantale-zirconium (CoTaZr)
- Couches magnétiques et micro-inducteurs
Chrome-cobalt (CrCo)
- Support d'enregistrement de données magnétique
Zirconium-yttrium (ZrY)
- Revêtements thermo-isolants
Nickel-platine (NiPt)
- Revêtements à base de diodes et VLSI pour semi-conducteurs
Matériaux fonctionnels avancés
Alliages spécialisés et matériaux dopés pour l'électronique haute performance.
GST dopé au carbone (C-GST)
- Applications de la mémoire à changement de phase
Cuivre Indium Gallium (CIG)
- Couches absorbantes de type P pour la conversion de l'énergie solaire
Alliages CoTaZr et CrCo
- Systèmes de mémoire spintronique et magnétique
Capacités de fabrication
- Pureté jusqu'à 99,999 % (5N)
- Types de cibles : planes et rotatives jusqu'à 4000 mm de longueur
- Procédés avancés : moulage sous vide, HIP, CIP et soudage par diffusion
- Formes personnalisées, compositions d'alliages et interfaces de liaison
- Analyse interne de la microstructure et validation du revêtement
Applications
- Semi-conducteurs : circuits intégrés, MEMS et couches barrières/d'interconnexion
- Écrans : TFT-LCD, OLED et Micro-LED
- Photovoltaïque : modules solaires à couche mince CIGS
- Optique : revêtements réfléchissants et antireflets de haute précision
- Stockage de données : applications magnétiques et spintroniques
- Revêtements fonctionnels : couches résistantes à l'usure et protégeant contre la corrosion
Pourquoi les matériaux essentiels ?
- Affinerie de métaux et production de cibles à intégration verticale
- Expertise dans la conception et l'optimisation d'alliages à plusieurs composants
- Approvisionnement mondial avec une pureté et une densité constantes
- Recherche et développement collaboratifs pour des compositions et des collages spécifiques aux clients