Ausrüstung
Lernen Sie FHR kennen
Erfahren Sie, wie FHR, ein Unternehmen der Vital Group, hochmoderne Vakuumbeschichtungsanlagen für die Forschung, die Entwicklung im Pilotmaßstab und die Großserienfertigung entwickelt und herstellt. Erfahren Sie mehr über das technische Know-how und die Dünnschichttechnologien, die das Anlagenportfolio von Vital stärken.
Vorgestelltes Produktionssystem
Line.2850.H-MD Inline-PVD-Beschichtungsanlage
Industrielle Sputterplattform, die für die Abscheidung mit hohem Durchsatz auf großformatigen Substraten konzipiert ist und fortschrittliche Anwendungen in der Dünnschicht-Photovoltaik-Fertigung sowie im Bereich des Architekturglases unterstützt.
Highlights
- Große Substrate mit Abmessungen von bis zu 1215 × 2300 mm
- >90 % nachgewiesene Verfügbarkeit
- 20 Sekunden Zykluszeit
- Substrattemperatur bis zu 200 °C ± 5 °C
- Horizontale kontinuierliche Inline-Produktion
- Gleichmäßige Beschichtungsleistung
- Verfahren wie HJT, Perowskit, Low-E-Glas und andere Dünnschicht-Photovoltaik-Technologien
Beschichtungs- und Abscheidungssysteme
Thermische Verdampfungssysteme
Unsere thermischen Verdampfungsplattformen unterstützen Materialien wie Metalle, Legierungen und bestimmte Verbindungen, die in optischen, elektronischen und speziellen Dünnschichtanwendungen verwendet werden. Diese Systeme sind auf Konsistenz, Wiederholbarkeit und einfache Bedienung ausgelegt.
Typische Merkmale
- Widerstand und Verdunstungsoptionen auf Booten
- Stabile Temperaturregelung für vorhersagbare Abscheidungsraten
- Konfigurierbare Kammergrößen für Forschungs- oder Produktionsumgebungen
- Kompatibel mit Metallen, Metalllegierungen und ausgewählten Verdampfungsmaterialien
Elektronenstrahl-Verdampfungssysteme
Die Elektronenstrahlverdampfung ermöglicht die hochreine und hochpräzise Abscheidung von Metallen und Verbindungen mit erhöhten Schmelzpunkten. Diese Systeme sind für eine Vielzahl von Tiegeln und Materialarten geeignet.
Typische Merkmale
- Hochenergetische Elektronenstrahlquellen für effizientes Schmelzen
- Geeignet für Hochtemperatur- oder hochreine Verdampfungsmaterialien
- Konfigurationen mit mehreren Taschen oder einer einzigen Tasche
- Feine Geschwindigkeitsregelung für gleichmäßige Dünnschichtbildung
Sputteranlagen
Die Sputteranlagen von Vital unterstützen Keramik-, Metall- und Edelmetalltargets in Forschungs-, Entwicklungs- und Produktionsumgebungen. Diese Systeme wurden für Stabilität und gleichmäßige Schichtdicke entwickelt und eignen sich für eine Vielzahl von Targetmaterialien.
Typische Merkmale
- DC-, HF- oder gepulste DC-Konfigurationen
- Magnetron-Sputtertechnologie für optimierte Effizienz
- Optionen mit einer oder mehreren Kathoden
- Kompatibel mit Keramik-, Metall- und Edelmetallzielen
Ionenunterstützte Abscheidungssysteme (IAD)
IAD-Systeme kombinieren Verdampfung mit Ionenstrahlunterstützung, um die Filmdichte, Haftung und langfristige Beschichtungsbeständigkeit zu verbessern.
Typische Merkmale
- Ionenstrahlverstärkung für verbesserte Filmeigenschaften
- Ideal für optische Beschichtungen, die Umweltbeständigkeit erfordern
- Unterstützt mehrere Beschichtungsmaterialien, darunter Oxide und Fluoride
Komponenten und Zubehör für Vakuumsysteme
Wir bieten eine breite Palette an unterstützenden Komponenten, die für die Integration in unsere Systeme oder in bestehende Kundenplattformen entwickelt wurden.
Verfügbare Komponenten
- Vakuumkammern und Pumpsysteme
- Stromversorgungen und Steuerungen
- Befestigungsvorrichtungen und Substrathalter
- Tiegel, Boote und Verdunstungsquellen
Technischer Support und Integration
Vital Materials bietet Anwendungssupport und technische Beratung, um Kunden bei der Optimierung ihrer Systemleistung zu unterstützen. Unsere Teams helfen bei der Materialauswahl, der Prozesseinrichtung, der Systemkonfiguration und bieten fortlaufenden technischen Support.
Der Support umfasst
- Leitfaden zur Prozessentwicklung
- Unterstützung bei der Materialverträglichkeit
- Verbrauchsmaterialien und Ersatzteile
- Wartungs- und Fehlerbehebungsunterstützung
Empfohlene Lösung: Roll-Serie
Entdecken Sie die Vakuumbeschichtungssysteme der „Roll Series“ von VMET und erfahren Sie, wie die Rolle-zu-Rolle-Verarbeitung eine skalierbare Dünnschichtabscheidung für die Fertigung der nächsten Generation ermöglicht.