Pyrolytisches Bornitrid (PBN)
Entscheidender Vorteil von PBN
Das mit fortschrittlicher CVD-Technologie hergestellte pyrolytische Bornitrid von Vital zeichnet sich durch außergewöhnliche Reinheit, Konsistenz und Zuverlässigkeit aus. Unsere Materialien genießen das Vertrauen der Halbleiter-, Photovoltaik- und Displayhersteller und ergänzen das breite Portfolio von Vital an ultrareinen Materialien, Hochleistungskeramiken und Spezialkomponenten, die die globale Lieferkette für fortschrittliche Materialien unterstützen.
Wichtigste Merkmale
PBN wurde für Hochleistungsumgebungen entwickelt und bietet:
- Ultrahohe Reinheit (>99,995 %) ohne metallische Verunreinigungen
- Außergewöhnliche chemische und thermische Stabilität
- Nicht poröse, gasdichte Struktur, ideal für Hochvakuumsysteme
- Hohe Durchschlagfestigkeit und elektrische Isolationsleistung
- Ausgezeichnete Temperaturwechselbeständigkeit
- Sicheres, ungiftiges Material, das sich leicht mit engen Toleranzen bearbeiten lässt.
- Richtungsabhängige (anisotrope) Wärmeleitfähigkeit, geeignet für Kristallwachstums- und Verdampfungsprozesse
Anwendungen
PBN bietet außergewöhnliche Sauberkeit, Stabilität und Hochtemperaturleistung in der modernen Fertigung. Typische Anwendungsbereiche sind:
Kristallwachstumssysteme
- Präzisionstiegel und Komponenten für VGF-, VB/HB- und LEC-Öfen
MBE (Molekularstrahlepitaxie)
- Effusionszellentiegel, Heizelemente und andere Hochtemperaturteile
MOCVD (LED-Produktion)
- Plattenheizungen, Suszeptoren und Isolationskomponenten
OLED-Verdampfung
- Tiegel und Quellen für die Abscheidung dünner organischer Schichten
Photovoltaik (CIGS)
- Boote, Tiegel und Komponenten für Beschichtungsprozesse
Hochtemperatur-Elektroisolierung
- Platten, Ringe und Bauteile für Vakuum- und Ofensysteme
Flache PBN-Platten
- Geeignet für Infrarotoptik, Halbleiterprozesse und andere präzise thermische Anwendungen
Typische Eigenschaften
(Die Werte stellen typische Bereiche dar; spezifische Abmessungen oder Geometrien können variieren.)
- Reinheit: ≥ 99,995 %
- Dichte: 2,19 g/cm³
- Härte: 450–500 KHN
- Wärmeleitfähigkeit: ~30 W/m·K (parallel zu den Schichten)
- Elektrischer Widerstand: >10¹⁴ Ω·cm
- Durchschlagfestigkeit: >56 kV/mm
- Wärmeausdehnungskoeffizient: 1,6 × 10⁻⁶ /°C (25–1000 °C)
- Maximale Gebrauchstemperatur:
- Im Vakuum: ~2000 °C
- In N₂-Atmosphäre: ~1900 °C
Qualität & Sicherheit
Jedes Vital PBN-Produkt wird unter ISO 9001- und ISO 14001-zertifizierten Systemen hergestellt, mit vollständiger Rückverfolgbarkeit der Chargen und einem Analysezertifikat (COA). Durch fortschrittliche Tests werden Reinheit, Dichte, Gleichmäßigkeit und Maßgenauigkeit überprüft, um eine zuverlässige Leistung in kritischen Anwendungen zu gewährleisten.