Keramische Zielscheiben
Vital Materials stellt ein umfassendes Sortiment an keramischen und oxidischen Sputtertargets für fortschrittliche Dünnfilmbeschichtungsanwendungen her. Unsere Materialien wurden für optische, elektronische und photovoltaische Anwendungen entwickelt und bieten hohe Stabilität, gleichmäßige Abscheidung und präzise Schichtkontrolle.
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Durch fortschrittliche Pulververarbeitungs-, Sinter- und Verbindungstechniken gewährleisten wir eine hervorragende Dichte, Reinheit und Homogenität der Zusammensetzung, was ein stabiles Sputtern unter anspruchsvollen Produktionsbedingungen ermöglicht. Alle Targets sind in planarer oder rotierender Form erhältlich und werden auf die Systeme und Folienanforderungen der Kunden zugeschnitten.
Transparente leitfähige Oxide (TCOs)
Vital ist ein zuverlässiger globaler Lieferant von transparenten leitfähigen Materialien, die in Displays, Touchpanels und Solarzellen verwendet werden.
Indium-Zinn-Oxid (ITO)
- In₂O₃/SnO₂-Zusammensetzungen (90/10, 95/5, 83/17 Gew.-%), für TFT-LCD, OLED, Photovoltaik und intelligentes Glas
Indium-Zink-Oxid (IZO)
- In2O3/ZnO, (90/10, 87/13, aber die Zusammensetzung kann auf Kundenanforderungen zugeschnitten werden; für Photovoltaik-, Display- und Smart-Glass-Anwendungen
Aluminium-dotiertes Zinkoxid (AZO)
- Transparente und kostengünstige leitfähige Alternative
PS
- Eigene Zielzusammensetzung TCO für die Verarbeitung bei niedrigen Temperaturen, z. B. Perowskit-PV
VTTO
- Proprietäre TCO für Silizium-PV
Alternative
- Alternative TCO-Materialien sind ebenfalls erhältlich
Metalloxide
Oxide mit hohem Brechungsindex
Für optische, photonische und dekorative Beschichtungen, die eine kontrollierte Reflektivität und Transmission erfordern.
- Nioboxid (Nb₂O₅) - VIS-NIR hoher Brechungsindex
- Tantal-Oxid (Ta₂O₅) - NUV-VIS-NIR-Beschichtungen und optische Filter
- Titanoxid (TiO₂, Ti₃O₅) - VIS-NIR-Beschichtungen, verschleißfeste Filme
- Hafniumoxid (HfO₂) - Hoher Brechungsindex für Laseroptiken
- Niobiumoxid (NbOx) - unterstöchiometrisches Niobiumoxid für elektronische und elektrochrome Anwendungen
- Andere Mischmetall- und substöchiometrische Oxide verfügbar
Oxide mit mittlerem und niedrigem Brechungsindex
Für Antireflexions- und Interferenzbeschichtungen.
- Tonerde (Al₂O₃) - NUV-VIS-NIR mittlerer Brechungsindex
- Siliziumdioxid (SiO₂) - Gemeinsame optische und schützende Schicht
- Zirkoniumdioxid (ZrO₂) - Verbesserung der mechanischen und optischen Haltbarkeit
- Zinkoxid (ZnO) - Nichtleitende Beschichtungen und Pufferschichten
- NiO: Stöchiometrisches Nickeloxid für photovoltaische Anwendungen
- NiOx: Gepulstes DC-sputterbares substöchiometrisches NiO für photovoltaische Anwendungen
- Andere Mischmetall- und substöchiometrische Oxide verfügbar
Halbleiter-Oxide
- Indium-Gallium-Zink-Oxid (IGZO ) - Für TFTs der nächsten Generation und hochauflösende Displays
Chalkogenide und zusammengesetzte Oxide
Entwickelt für Halbleiter, Sensoren und Energiegeräte.
Kadmium-Zink-Tellurid (CdZnTe)
- Dünnschicht-Solarzellen und IR-Detektoren
Kupfer-Indium-Gallium-Selenid (CIGS)
- Absorberschicht für Dünnschicht-Photovoltaik
Indium Selenid (In₂Se₃) und Indium Sulfid (In₂S₃)
- Ungiftige Alternativen zu Schichten auf Cadmiumbasis
Produktionskapazitäten
- Reinheiten bis zu 99,999% (5N)
- Fortschrittliche Sinter-, Heißpress-, HIP- und Sprühtechnologien für gleichmäßige Dichte
- Maßgeschneiderte Mischungsverhältnisse, Formen und Bindungsoptionen
- Planare und rotierende Ziele bis zu 4000 mm Länge
- Beschichtungsvalidierung und Mikrostrukturanalyse im Haus
Anwendungen
- Anzeigen: TFT-LCD, OLED und Mikro-LED
- Photovoltaik: Transparente leitende und absorbierende Schichten
- Optische Beschichtungen: Stapel mit hohem und niedrigem Brechungsindex
- Halbleiter: Dielektrische, Barriere- und Funktionsschichten
- Intelligentes Glas und dekorative Beschichtungen: Elektrochrome und Low-E-Systeme
Warum lebenswichtige Materialien
- Weltweite Kompetenz in der Oxid- und Verbindungssynthese
- Vollständige vertikale Integration vom Rohstoff bis zum verklebten Ziel
- Maßgeschneiderte Stöchiometrie und Strukturkontrolle zur Prozessoptimierung
- Bewährte Qualitätssicherung und Konsistenz in der Produktion